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三维原子探针

型号:LEAP4000XHR
仪器编号:11001069
购入时间:2011-03-23
分类号:03040703
国别:美国
制造厂家:美国IMAGO
所在单位:分析测试中心
所在地址:宝山校区B楼120
联系人:李慧(18017086586/66135027)、刘文庆(18930623992/66135027)、
仪器简介:
三维原子探针(3DAP)是在场离子显微镜(FIM)基础上发展的新型分析仪器。在样品尖端叠加脉冲电压或脉冲激光(激光模式使用)使原子电离并蒸发,用飞行时间质谱仪测定离子的质荷比来确定该原子的种类,用位置敏感探头确定原子的位置,从而给出纳米空间中不同元素原子的分布图形。LEAP 4000X HR是一台更先进的原子探针,与我校另一台3DAP相比,最突出的特点是数据采集速度快,而且分析体积大。
主要技术指标:
1. 在200 nm×200 nm×深度方向三维空间中可分辨几乎所有原子的的种类并给出三维空间的分布。纵向空间分辨率0.2 nm。
2. 分析室的真空度优于1×10-10 Torr。
 
3. 系统可探测的质/ 荷比范围为1 到 300 AMU
4. 半高宽质量分辨率优于1000:1,十分之一高宽质量分辨率优于475:1。
5. 最大数据收集速率大于100万个离子/分钟。
6. 激光脉冲模式下最高脉冲频率250 kHz。
应用范围:
导电材料、半导体材料内纳米空间的成分分布。
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