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双束型聚焦离子束

型号:600i
仪器编号:11006615
购入时间:2011-12-18
分类号:03210726
国别:捷克
制造厂家:FEI HONGKONG CO.,LTD
所在单位:分析测试中心
所在地址:B楼121室
联系人:梁雪(18917768700)、
仪器简介:

仪器配备以下主要附件:

1.      新一代Elstar极靴内探测器(TLD

2.      ETD二次电子探测器

3.      Omniprobe AutoProbe 200.2 机械手

4.      铂沉积气体注入系统

5.      内置式等离子清洗系统

6.      英国OXFORD公司INCA MX80-EDS

主要技术指标:

1.      电子束系统分辨率:0.9nm15kv/1.4nm1kv

2.      离子束系统分辨率:在束交叉点:4.5nm@30kV(统计测量法)

                      在束交叉点:2.5nm@30kV(单边测量法)

3.      电子束加速电压:350V-30kV

4.      离子束加速电压:0.5-30kV

5.    电子束流22nA

6.      离子束流:1pA – 65nA

应用范围:
纳米级加工及观测研究。
版权所有:上海大学实验设备处
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