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发射扫描电子显微镜

型号:JSM-6700F
仪器编号:20032804
购入时间:2003-12-30
分类号:03040702
国别:日本
制造厂家:日本电子公司
所在单位:分析测试中心
所在地址:宝山B楼 125
联系人:褚于良(18817872961)、
仪器简介:
仪器型号: JSM-6700F
生产厂家:JEOL (日本)
主要附件:
1.背散射电子探头
2.低位探头
3.英国OXFORD公司INCA EDS
主要技术指标:
1.分辨率:1.0nm15kv/2.2nm1kv
2.加速电压:0.5-30kV
3.EDS分辨率: MnKa小于136eV
4.EDS 元素分析范围:B5-U92
应用范围:
观察通过微细加工技术而制成的多层膜和超细微粒子等的微细结构。
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